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              薄膜襯底

              鋁酸鑭(LaAlO3)單晶是當前最重要的工業化、大尺寸高溫超導薄膜基片單晶材料。它用提拉法生長,可以得到直徑2英吋及更大的單晶和基片。它與YBaCuO等高溫超導材料和晶格匹配好,介電常數較低,微波損耗小,因而適于制作高溫超導微波電子器件(如遠程通訊中的高溫超導微波濾波器等)。有巨大的現實及潛在的應用前景。
                 
              主要性能參數
              晶系
              六方(常溫)
              立方(>435℃)
              晶格常數
              六方a=5.357A   c=13.22 A
              立方a=3.821 A
              熔點(℃)
              2080
              密度
              6.52(g/cm3
              硬度
              6-6.5(mohs)
              熱膨脹系數
              9.4x10-6/℃
              介電常數
              ε=21
              損耗正切(10ghz)
              ~3×10-4@300k,~0.6×10-4@77k
              顏色及外觀
              依退火狀況而不同,由棕黃色到褐色
              拋光基片有自然孿晶疇
              化學穩定性
              室溫下不溶于礦物酸,溫度大于150℃時可溶于h3po4
              特點
              適于微波電子器件
              生長方法
              提拉法
              尺寸
              10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
              Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″
              厚度
              0.5mm,1.0mm
              拋光
              單面或雙面
              晶向
              <100>  <110>  <111>
              晶面定向精度:
              ±0.5°
              邊緣定向精度:
              2°(特殊要求可達1°以內)
              斜切晶片
              可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
              Ra:
              ≤5?(5μm×5μm)
              包裝
              100級潔凈袋,1000級超凈室
              0551-63468281
              日本japanese丰满|五月天AV在线资源站·|伊人无码AV一区二区三区

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